SK海力士CEO Seok-hee Lee(李曦曦)近日就无锡海力士半导体厂一事与媒体进行了沟通。
其中,EUV口罩对准器的问题备受关注。李希希说,他正在与美国合作,并取得良好进展。EUV光刻机技术已经在韩国DRAM生产线得到应用,中国工厂还有充足的时间进行调解和沟通。
据悉,无锡工厂SK Hynix引进的掩膜版对准器将用于制造10纳米DRAM芯片,即第四代存储器。